현상기

PHOTO LITHOGRAPHY포토 리소그래피

현상기

 

목차(클릭하면 아래로 이동합니다)

현상

현상이란?

more

현상액

현상액

more

현상 공정

현상 공정

more

약액 공급 설비

약액 공급

more

패들 현상기

패들식

more

기립 반송형 현상 장비

기립 반송

more

매엽·수평 반송형 현상 장비

수평 반송

more

딥식 현상 장비

딥식

more

행거식 현상 장비

행거식

more

수동 현상기

수동기

more

현상이란?

현상 공정이란 레지스트 도포한 프린트 기판이나 유리 기판에 노광 공정에서 패턴을 열처리한 후에 불필요한 레지스트를 용해하여(필요한 패턴 부분만 레지스트를 남김) 다음 공정에서 에칭되지 않도록 하는 공정입니다.

 

당사에는 현상기 단일품부터 포스트 베이크와 일체화한 인라인 사양까지 다양한 제작 실적이 있습니다.

현상액

워크나 레지스트에 따라 다르지만 알칼리 수용액이나 유기용제계 현상액을 사용하는 경우가 많습니다.

 

현상 공정

현상 공정은 주로 다음과 같은 공정 흐름으로 이루어집니다.
현상 공정

현상 공정에서는 불필요한 레지스트를 용해하여 필요한 패턴 부분만 레지스트를 남기는 것을 목적으로 하고 있습니다.

 

노광 후 현상을 하기 전에 레지스트에 포함된 물이나 유기용제 성분을 건조시켜 현상 공정이 원활하게 진행되도록 프리 베이크라고 하는 공정을 추가하는 경우가 있습니다.

 

현상 후에 약간의 수분이나 현상액 성분이 부착되는 경우가 있습니다. 이것을 건조 제거하기 위해 포스트 베이크를 추가한 후에 에칭하는 경우도 있습니다.

 

당사에서는 전공정, 후공정으로 원활하게 이행할 수 있도록 로더·언로더의 사양도 고객 맞춤형으로 설계합니다.

현상액 공급 설비

현상을 할 때는 현상액을 안정시킬 필요가 있습니다. 현상액 농도, 액 온도, 액 보충 등을 최적의 조건으로 유지함으로써 품질이 안정됩니다.

 

당사에서는 현상기를 설계할 때에 필요에 따라 약액 공급 설비를 제안하고 있습니다.

패들 현상

Paddle type developing machine

패들 현상기의 특징

웨이퍼를 진공 흡착하여 고속회전(스핀)시키면서 스프레이 현상 및 순수 세정을 실시합니다.

 

현상, 순수 세정, 건조까지 일관 처리가 가능합니다.

패들 현상 장비의 사양례

항목
제작 실적
워크 재질
실리콘 웨이퍼
워크 두께
280~775µm
워크 사이즈
2~12인치
주요 약품
알칼리계 현상액
택트
-초
표준 납기
4개월
안전대책
곳곳에 인터록 있음
운전 방법
자동운전
제어 방법
PLC제어
규격
JIS규격

기립 반송형 현상 장비

기립 반송형 현상 장비

기립 반송형 현상 장비의 특징

수평으로 투입한 워크를 기립 기구로 약80° 일으킨 상태로 반송합니다.

 

현상, 세정, 건조까지 일관 처리를 합니다.

 

워크 사이즈나 사용 약액에 맞추어 설계합니다.

기립 반송형 현상 장비의 사양례

항목
제작 실적
워크 재질
유리
워크 두께
1.8~2.8mm
워크 사이즈
L=2333mm, W=1663mm
주요 약품
알칼리계 현상액
택트
약75초
표준 납기
4개월
안전대책
곳곳에 인터록 있음
운전 방법
자동운전
제어 방법
PLC제어
규격
JIS규격

매엽·수평 반송형 현상 장비

매엽·수평 반송형 현상 장비

매엽·수평 반송형 현상 장비의 특징

워크를 수평 반송으로 현상 처리를 하는 장비입니다.
현상, 세정, 건조까지 일관 처리를 합니다.

 

워크 사이즈나 사용 약액에 맞추어 설계합니다.

매엽·수평 반송형 현상 장비의 사양례

항목
제작 실적
워크 재질
유리
워크 두께
1.8~2.8mm
워크 사이즈
L=1700mm, W=2300mm
주요 약품
알칼리계 현상액
택트
약75초
표준 납기
4개월
안전대책
곳곳에 인터록 있음
운전 방법
자동운전
제어 방법
PLC제어
규격
JIS규격

딥식 현상 장비

딥식 현상 장비

딥식 현상 장비의 특징

딥 방식으로 현상 처리를 하는 장비입니다.
별도 약액 공급 설비를 갖춤으로써 안정된 현상액 보충을 합니다.

 

워크 사이즈나 사용 약액에 맞추어 설계합니다.

딥식 현상 장비의 사양례

항목
제작 실적
워크 재질
유리
워크 두께
5.0mm
워크 사이즈
32×28인치
주요 약품
알칼리계 현상액
표준 납기
3개월
안전대책
곳곳에 인터록 있음
운전 방법
반자동 운전
제어 방법
PLC제어
규격
JIS규격

행거식 현상 장비

행거식 현상 장비

행거식 현상 장비의 특징

워크를 행거에 매달아 연속 자동 현상 처리를 하는 장비입니다.
현상, 세정, 건조까지 일관 처리를 합니다.

 

워크 사이즈나 사용 약액에 맞추어 설계합니다.

행거식 현상 장비의 사양례

항목
제작 실적
워크 재질
금속
워크 두께
처리 조건에 따라 다름
워크 사이즈
350×600mm
주요 약품
알칼리계 현상액
표준 납기
4개월
안전대책
곳곳에 인터록 있음
운전 방법
반자동 운전
제어 방법
PLC제어
규격
JIS규격

수동 현상기

수동 현상기

수동 현상기의 특징

수동 또는 반자동 조작에 의한 현상기입니다.
1장씩 처리하기 때문에 소량 생산이나 시제품 처리 등에 적합합니다.

수동 현상기의 사양례

항목
제작 실적
워크 재질
유리
워크 두께
5.0mm
워크 사이즈
32×28인치
주요 약품
알칼리계 현상액
처리 용량
1매/회
표준 납기
1개월
안전대책
곳곳에 인터록 있음
운전 방법
반자동 운전
제어 방법
PLC 제어, 릴레이 제어
규격
JIS 규격

기타 현상 장비

상기 이외에도 많은 납품 실적이 있습니다. 고객의 다양한 상황에 맞추어 설계·제조를 주문받고 있습니다.

항목
제작 실적
처리 재질
스테인리스, 42 알로이, DFR, PET, 유리
현상액
TMAH, 탄산나트륨 등

문의사항이 있으시면 아래 전화번호로 연락 주시거나, 문의 양식을 남겨주십시오.

전화:+81-80-5365-8622

영업시간 8:30~17:15 (UTC+9)

문의 양식

바쁘신 분들은 여기
자주 묻는 질문
문의
PAGETOP
Copyright © NSC ENGINEERING CO.,LTD. All Rights Reserved.