현상기

현상기

 

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현상이란?

현상 공정이란 레지스트 도포한 프린트 기판이나 유리 기판에 노광 공정에서 패턴을 열처리한 후에 불필요한 레지스트를 용해하여(필요한 패턴 부분만 레지스트를 남김) 다음 공정에서 에칭되지 않도록 하는 공정입니다.

 

당사에는 현상기 단일품부터 포스트 베이크와 일체화한 인라인 사양까지 다양한 제작 실적이 있습니다.

현상액

워크나 레지스트에 따라 다르지만 알칼리 수용액이나 유기용제계 현상액을 사용하는 경우가 많습니다.

 

현상 공정

현상 공정은 주로 다음과 같은 공정 흐름으로 이루어집니다.

현상 공정에서는 불필요한 레지스트를 용해하여 필요한 패턴 부분만 레지스트를 남기는 것을 목적으로 하고 있습니다.

 

노광 후 현상을 하기 전에 레지스트에 포함된 물이나 유기용제 성분을 건조시켜 현상 공정이 원활하게 진행되도록 프리 베이크라고 하는 공정을 추가하는 경우가 있습니다.

 

현상 후에 약간의 수분이나 현상액 성분이 부착되는 경우가 있습니다. 이것을 건조 제거하기 위해 포스트 베이크를 추가한 후에 에칭하는 경우도 있습니다.

 

당사에서는 전공정, 후공정으로 원활하게 이행할 수 있도록 로더·언로더의 사양도 고객 맞춤형으로 설계합니다.

현상액 공급 설비

현상을 할 때는 현상액을 안정시킬 필요가 있습니다. 현상액 농도, 액 온도, 액 보충 등을 최적의 조건으로 유지함으로써 품질이 안정됩니다.

 

당사에서는 현상기를 설계할 때에 필요에 따라 약액 공급 설비를 제안하고 있습니다.

패들 현상

기립 반송형 현상 장비

매엽·수평 반송형 현상 장비

딥식 현상 장비

행거식 현상 장비

수동 현상기

기타 현상 장비

상기 이외에도 많은 납품 실적이 있습니다. 고객의 다양한 상황에 맞추어 설계·제조를 주문받고 있습니다.