코터 장비

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코터 장비

 

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코터 장비란?

코터 장비란?

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딥 코터


코터

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코터 장비란?

 

포토 처리 공정의 일례

 

유리·반도체 웨이퍼·금속 필름 등의 기재에 도공 대상물을 제막하는 장비이며 그 방법은 습식 코팅과 건식 코팅으로 대별됩니다.

 

【습식 코팅】은 레지스트액이나 핫멜트 접착재 등 액체 재료를 도포하는 방법이며 대표적인 장비로 아래를 들 수 있습니다.

 

  • ・딥 코터
  • ・스프레이 코터
  • ・스핀 코터
  • ・롤 코터
  • ・슬릿 코터

 

 

【건식 코팅】은 진공 속에서 제막하는 방법이며 증착 장비와 스패터 장비가 있습니다.

 

당사에서는 지금까지 습식계 레지스트 도포 장비를 많이 제작해 왔습니다. 코터 장비뿐만 아니라 전처리 장비나 투입/취출 장비와 결합한 라인 제작 실적이 있습니다.

 

딥 코터

딥 코터 딥 코터

딥 코터

딥 코터의 특징

복수의 워크를 동시에 처리 가능하며, 또한 복잡한 요철 형상이라도 균일하게 코팅할 수 있습니다.


처리 탱크에는 자동온도조절 기능이 있어 공정의 중요 관리항목인 코팅 재료의 점도와 온도를 일정하게 유지합니다.

딥 코터의 사양례

항목
제작 실적
워크 재질
유리
워크 두께
0.5~0.7mm
워크 사이즈
450×500mm
주요 약품
유기계 레지스트
처리 용량
약22,800sheet/월
택트
약480초/5매
표준 납기
4개월
안전대책
자동 소화기 장착
운전 방법
수동 운전
제어 방법
릴레이 제어
규격
JIS규격

영업시간 8:30~17:15 (UTC+9)
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