코터 장비

코터 장비

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코터 장비란?

포토 처리 공정의 일례

유리·반도체 웨이퍼·금속 필름 등의 기재에 도공 대상물을 제막하는 장비이며 그 방법은 습식 코팅과 건식 코팅으로 대별됩니다.

【습식 코팅】은 레지스트액이나 핫멜트 접착재 등 액체 재료를 도포하는 방법이며 대표적인 장비로 아래를 들 수 있습니다.

• ・딥 코터
• ・스프레이 코터
• ・스핀 코터
• ・롤 코터
• ・슬릿 코터

【건식 코팅】은 진공 속에서 제막하는 방법이며 증착 장비와 스패터 장비가 있습니다.

당사에서는 지금까지 습식계 레지스트 도포 장비를 많이 제작해 왔습니다. 코터 장비뿐만 아니라 전처리 장비나 투입/취출 장비와 결합한 라인 제작 실적이 있습니다.

딥 코터